方阻测试仪原理及检测标准

　　1.什么是四探针电阻率测试仪

　　四探针电阻率测试仪其实从专业角度来说，就是高温四探针测量系统。该系统包括高温测试平台、高温四探针夹具、电阻率测试仪和高温电阻率测量软件。三琦高温四探针测量系统是为了满足材料在高温环境下的阻抗特性测量需求而设计的。它由硬件设备和测量软件组成，包括高温测试平台、高温四探针夹具、电阻率测试仪和高温电阻率测量系统软件四个组成部分。高温测试平台是为样品提供一个高温环境；高温四探针夹具提供待测试样品的测试平台；电阻率测试仪则负责测试参数数据。

　　最后，再通过测量软件将这些硬件设备的功能整合在一起，形成一套由实验方案设计到温度控制、参数测量、图形数据显示与数据分析于一体的高温电阻率测量系统。

　　2.四探针电阻率和方块电阻的测量结果的误差来源有哪些

　　四探针方块电阻（又叫薄膜电阻）测试仪是半导体制造中常用的检测仪器之一，用以测量半导体材料的电阻率和薄膜的方块电阻，同时达到测量半导体薄层材料的掺杂浓度和薄膜厚度、控制器件和集成电路性能的目的。

　　目前半导体集成电路迅猛发展，带动相关测试技术发展。随着集成度的提高，器件尺寸的不断缩小，晶圆尺寸的增大，要求测试系统的测量精度、稳定性、分析和数据处理的能力不断提高。半导体电阻率测量应用广泛，在进口测量设备非常昂贵下，国产四探针方块电阻、电阻率测试系统市场很好，开发***的四探针方块电阻测试系统很有意义。

　　3.方阻测试仪测量标准

　　手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准。成套组成：由主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。仪器所有参数设定、功能转换全部采用轻触按键输入；具有零位、满度自校功能；手动/自动转换量程可选；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池片等箔上涂层电阻率方阻。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的手持式导电性能的测试。