台阶仪种类有哪些_原理概述

　　台阶仪学名原理概述：

　　台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器，而且它也被人们叫做台阶测量仪等等。它的结构完美，因为在它的内部有一个功效强大的传感器。与此同时，台阶仪所具有的优点也比较多，具有高测量精度、测量结果也尤其稳定、测量里程较大以及至关重要的可重复性等。但是，台阶仪的性能也会随着测头与测头之间的摩擦而减弱，进而降低测量精度。

　　台阶仪的种类有哪些?

　　台阶仪也被人们叫做台阶测量仪，由于其内部存在一个样式不一的传感器，所以制造厂家根据传感器不同进行分类为为电感式、压电式以及光电式的台阶仪。不同分类台阶仪的主要差异：电感式的台阶仪测量的精度高，但是相应的电路处理稍显复杂。压电式台阶仪其灵敏度高，结构也较为简单。光电式台阶仪则是属于较为新型的一种测量仪形式。

　　台阶仪的工作原理：

　　台阶仪主要的作用是用于测量，工作原理主要是，当台阶仪其触针在被测的物体表面轻轻滑过时，接触体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此触针的运动情况体现了测量物表面轮廓的情况。而当传感器输出的信号经过测量的电桥后，输出的信号与触针的平衡位子的位移此刻成正比，调幅信号也随之出现，经过放大和整流后，位移信号就从调幅信号中解调出来了，信号变得相应缓慢，也就能在控制器中被读取出来。随之噪音滤波器以及波度滤波器会对调制频率以及外界的干扰信号等因素进行进一步的过滤，这时间，误差所带来的影响也随之减小。

　　镀膜前可以用胶带（能够承受镀膜温度的胶带）把硅片的一个角落位置粘住，镀完膜后把胶带撕掉就有台阶了。台阶不一定要完全垂直的，只要看两个水平面（硅片表面和薄膜表面）的高度差就行了。如果是已经镀好的薄膜，透明薄膜和不完全透明薄膜都可以用椭偏仪测厚度，薄膜测厚仪好像也可以。如果要用台阶仪测，那就要用氢氟酸等清洗制备出台阶。综上所诉，表面形状测量仪器已经被人们广泛的应用于众多领域，例如轴承制造，汽车制造等。而且由于它可以与测量物体的表面接触，所以就提高了测量结果的稳定性和准确性等。

　　其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的

　　同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

　　台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器  。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。

　　主要种类

　　电感式采用电感位移传感器作为敏感元件，测量精度高、信噪比高，但电路处理复杂；压电式的位移敏感元件为压电晶体，其灵敏度高、结构简单，但传感器低频响应不好、且容易漏电造成测量误差；光电式是利用光电元件接收透过狭缝的光通量变化来检测位移量的变化。