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供应电极管线镀膜靶材

发布时间:2024-04-27 16:33:48
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    广州
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18026253787

产品参数

品牌 尤特新材 型号 UVTM
材料 多晶硅、铝、铜及其合金 规格 多晶硅、铝、铜及其合金
货号 UVTM 用途 CVD技能、PVCD技能、真空蒸腾金属技能、磁控溅射技能和射频溅射技能
品牌 UVTM

产品详情

真空镀膜设备使用哪些领域?镀膜技能在集成电路制造中的运用晶体管路中的保护层(SiOSi3N4)、电极管线(多晶硅、铝、铜及其合金)等多是选用CVD技能、PVCD技能、真空蒸腾金属技能、磁控溅射技能和射频溅射技能。可见气相堆积术制备集成电路的核心技能之一。2镀膜技能在装饰品方面的运用跟着经济的开展和生活水平的进步,大家喜爱将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室表里装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五光十色。3镀膜技能在光学仪器中的运用大家了解的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪,以及平时生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等,它们都离不开镀膜技能,镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。

靶的晶粒尺寸越细小,溅镀薄膜的厚度分布越均匀,溅射速率越快。正因为靶材在性能上有上述诸多特殊要求,导致其制备工艺较为复杂。靶材的制备工艺目前制备靶材的方法主要有铸造法和粉末冶金法。铸造法;将一定成分配比的合金原料熔炼,再将合金熔液浇注于模具中,形成铸锭,较后经机械加工制成靶材。